Những đặc điểm chính Có thể sử dụng các đầu dò khác nhau (F400, F1, F1 / 90 °, F10, N1, N400, vv); Ba phương pháp hiệu chuẩn: một điểm hiệu chuẩn, hai điểm hiệu chuẩn, hiệu chuẩn cơ bản; Độ phân giải màn hình: 0.1 μm (dải đo nhỏ hơn 100 μm) 1μm (phạm ...